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光学电子万级净化车间

光学电子万级净化车间

  光学电子万级净化车间一般适用于电子仪器仪表、计算机、液晶制造、光学镜片制造、航天工业、光刻、微机制造等行业,这类洁净室要求有很高空气洁净度以外,还要保证达到除静电的要求。

  光学电子净化车间的洁净等级有10、100、1000、10000、100000、300000级等。其中万级无尘车间的标准如下:万级净化车间0.5微米的最大容许粒子浓度小于352000(pc/m3),5微米的最大容许粒子浓度小于29300(pc/m3)。

  ●光学电子万级净化车间内的噪声级(空态):不应大于65dB(A)

  ●光学电子万级净化车间垂直流无尘车间满布比不应小于60%,水平单向流无尘车间不应小于40%,否则就是局部单向流了。

  ●光学电子万级净化车间与室外的静压差不应小于10Pa,不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不应小于5Pa

  ●光学电子万级净化车间内的新鲜空气量应取下列二项中的大值:

  ●补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和。

  保证供给无尘车间内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3。

  需要注意的是,万级无尘车间有两种意义,一种是静态万级,就是车间内部有设备但没有在运行,没有人员移动的情况;还有一种是动态,就是内部各个工序在运转的时候的洁净度,一般情况都是指前者。