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电子光学

10万级电子净化车间

10万级电子净化车间

  电子工厂如大规模集成电路(LSI)、超大规模集成电路(VLSI)等微电子(IC)工厂;液晶显示器(LCD)、彩色薄膜液晶显示器(TFT-LCD)、等离子显示器(PDP)以及发光二极管(LED)、有机电致发光显示器(OLED)、高分子有机电致发光显示器(PLED)等光电子工厂都离不开洁净的生产环境。

  电子净化车间可分为百级、千级、万级、十万级、三十万级等。十万级电子净化车间的标准如下:

  1、尘粒最大允许数(每立方米):大或等于0.5微米的粒子数不得超过3500000个,大或等于5微米的粒子数不得超过20000个;

  2、微生物最大允许数:浮游菌数不得超过500个每立方米,沉隆菌数不得超过10个每培养皿。

  3、压差:相同洁净度等级的净化车间压差保持一致,不同洁净等级的相邻净化车间之间压差要≥5Pa,净化车间与非净化车间之间要≥10Pa。